blízko
Vyberte si svůj web
Globální
Sociální média
Zobrazení: 0 Autor: Editor webů Publikování Čas: 2025-07-16 Původ: Místo
Laboratoře vybírají nejlepší optická zrcadla pro přesnost, sílu a vysokou odrazivost. Horní zrcadla v roce 2025 jsou širokopásmové kovové, stříbrné, dielektrické, vysoká odrazivost, čtvrtiná vlna a deformovatelná zrcadla. Krystalická a skleněná přední povrchová zrcátka se ve vědě hodně používají. Jsou populární, protože se dobře odrážejí a lze je použít mnoha způsoby. Dielektrická zrcadla odrážejí více než 99% světla. To je velmi důležité pro lasery a spektroskopii. Kovová zrcadla, jako je stříbro a hliník, pracují s mnoha typy světla a jsou spolehlivá. Níže uvedený graf ukazuje, kolik světla odráží různá zrcátka.
Vyberte optická zrcadla, která odpovídají potřebám vaší laboratoře. Přemýšlejte o vlnové délce, síle a kde je použijete pro nejlepší výsledky. Dielektrická zrcadla se odrazí zpět více světla a vydrží déle. Jsou skvělé pro pečlivou litografii a laserové práce. Silver-potažená zrcátka odrážejí nejvíce světla. Ale musí být často chráněny a čištění často, aby se nezničily. Vysoká odrazivost a rovinnost pomáhají vytvářet jasné obrázky a správné měření v litografii a zobrazování. Držte zrcadla po okrajích, udržujte je v čistotě a uložte je správně. To jim pomáhá vydržet déle a fungovat lépe.
Laboratorní optická zrcadla musí dodržovat přísná pravidla pro litografii. Používají se v EUV, DUV a ponoření litografie. Nejdůležitějšími věcmi, které je třeba zkontrolovat, je plodnost, přenášená zkreslení vlny, drsnost povrchu, paralelismus, kolísání celkové tloušťky a poměr stran. Tyto věci ovlivňují to, jak dobře zrcadlo odráží světlo a funguje v litografických strojích EUV a DUV. Níže uvedená tabulka uvádí hlavní specifikace:
| Specifikace | Popis | Dopad na litografii a odrazivost |
|---|---|---|
| Platness (vrchol k údolí, RMS) | Kolik zrcadla není dokonale ploché | Řídí ohýbání světla, velmi důležité pro EUV |
| Přenášené zkreslení vlny | Jak zrcadlo mění světlo procházející | Mění ostrost obrazu v litografii |
| Drsnost povrchu | Drobné hrboly nebo poklesy na povrchu | Způsobuje rozptyl světla a snižuje odrazivost |
| Paralelismus / klín | Rozdíl úhlu mezi oběma stranami | Udržuje světelný paprsek rovnou v DUV a EUV |
| Celková změna tloušťky | Jak moc se tloušťka mění přes zrcadlo | Zajistit, aby zrcadlo funguje stejně |
| Poměr stran a jasný clona | Velikost a oblast, kterou lze použít | Ovlivňuje to, jak je vyroben a jak to odráží |
Poznámka: Vysoká odrazivost a nízké zkreslení jsou velmi důležité pro extrémní ultrafialovou litografii a ponoření litografie. Dokonce i malé chyby mohou systém zhoršit.
Typ povlaku rozhoduje, jak dobře se zrcadlo odráží, jak dlouho to trvá a jaké světlo funguje v litografii a EUV. Níže uvedená tabulka ukazuje rozdíly mezi kovovými, dielektrickými a hybridními povlaky:
| povlaku. | typu | délky odrazivosti | Compatibility vlnové |
|---|---|---|---|
| Kovový (AL, AG, AU, CR) | Vysoko pro mnoho typů světla | Může rez, potřebuje ochranu | Pracuje s UV, viditelným, IR, EUV, DUV |
| Dielektrikum | Téměř 100%, nastavitelné | Může být poškozeno životním prostředím | Lze vyrobit pro litografii, EUV, DUV |
| Hybridní | Míchá oba typy | Závisí na vrstvách | Používá se pro speciální litografie |
Stříbrné povlaky odrážejí hodně světla, ale mohou se postupem času zhoršit , zejména v EUV a DUV. Dielektrické vrstvy je mohou chránit, ale pro dlouhé použití v litografických strojích jsou potřebné speciální návrhy.
Deformovatelná zrcadla mohou změnit tvar pomocí elektromagnetických ovladačů. Opravují problémy vlny, což je velmi důležité pro přesnou litografii a EUV systémy.
Dielektrická zrcadla odrážejí více světla než kovová zrcadla.
Zrcadla s vysokou odrazivostí mají obvykle dielektrické povlaky a jsou dobré pro silnou litografii.
Širokopásmová zrcátka pracují od UV do téměř infračervené, takže jsou skvělá pro DUV a EUV litografii.
Kovová zrcadla se hodně používají, protože pracují s mnoha typy světla.
Většina laboratorních zrcadel pro litografii, DUV a EUV je mezi 12,7 mm a 50,8 mm široké . Čistý otvor je asi 85-90% šířky, která odpovídá velikosti světelného paprsku v litografii a strojích EUV. Větší zrcadla zvládnou větší paprsky a zastavit poškození v silných systémech DUV a EUV. Pokud se zrcadlo hodí paprsku, zůstane rovina stejná, takže větší zrcadla neztrácejí výkon.
Menší zrcadla mohou mít více chyby rovinnosti, ale to obvykle neublíží litografii, pokud je velikost správná.
Cena závisí více na tom, jak ploché je zrcadlo než na jeho velikosti. Zrcadla s těsnější rovinností (jako λ/10) stojí více, což je důležité pro velmi přesnou litografii a EUV.
Větší zrcadla stojí více, protože potřebují více povlaku a materiálu, zejména pro extrémní ultrafialovou litografii a DUV stroje.
Cena a kvalita jsou propojeny. Lepší zrcadla pro litografii, EUV a DUV stojí více, ale odrážejí lépe a vydrží déle. Sběr nejlevnějšího zrcadla často znamená nižší odrazivost a kratší životnost, která může poškodit litografické výsledky. Laboratoře by měly přemýšlet o nákladech i kvalitě, zejména pro ponoření litografie a pokročilé systémy EUV.
Silver-potažená zrcátka jsou nejlepší volbou pro laboratoře v roce 2025. Odrážejí asi 95% viditelného světla. Laboratoře je používají v citlivých nástrojích, jako jsou dalekohledy a infračervené detektory. Tato zrcadla mají nízkou emisivitu a dobře fungují s infračerveným světlem. Stříbro je ušlechtilý kov. Velmi dobře vede teplo a elektřinu. Díky tomu je užitečný v mnoha vědeckých nastaveních.
Stříbrné povlaky však mohou rychle poškrábat, pokud se dotknou vzduchu nebo vody. Dielektrické povlaky je chrání, ale mohou trochu snížit odrazivost. Stříbrná zrcátka potřebují často čištění. Mohou se poškodit ultrafialovým světlem, pokud nejsou zakryty. Hliníkové zrcátka vydrží déle a lépe zpracovávají ultrafialové světlo. Ale neodrážejí tolik viditelného světla jako stříbro.
| typu povlaku | Výhody | nevýhody |
|---|---|---|
| Stříbro | - Nejvyšší odrazivost (~ 95%) napříč viditelným spektrem- nízká emisivita- vynikající infračervený výkon- všestranný a široce používaný v citlivých optických nástrojích- ušlechtilý kov s vysokou elektrickou a tepelnou vodivostí | - Pokanivky snadno v důsledku expozice na životní prostředí- vyžaduje ochranné dielektrické povlaky a pravidelnou údržbu- citlivé na poškození ultrafialovým světlem bez správných kabátů- ochranné vrstvy mohou mírně snížit odrazivost |
| Hliník | - Mírně nižší odrazivost (~ 90%) ve viditelném rozsahu- lepší ultrafialová a infračervená odrazivost- tvoří přirozenou oxidovou vrstvu chránící před korozí a široce se používá v kosmických dalekohledech- odolnější vůči environmentální degradaci | - Oxidová vrstva snižuje odrazivost a je obtížné čistitelné ochranné povlaky mohou snížit odrazivost mírně- čistý hliník je mechanicky slabý bez letiní nebo ošetření |
Poznámka: Stříbrná zrcátka jsou nejlepší, když potřebujete nejvíce odrazivosti a přesnosti. Jsou skvělé pro litografii a pokročilé zobrazování.
Monolitické jednokrystalové diamantové zrcadla jsou nejlepší pro silné lasery v laboratořích. Diamond má vysoký index lomu a široký bandgap. Má také nejvyšší tepelná vodivost při pokojové teplotě . Tato zrcadla mohou mít silnou laserovou energii, aniž by se příliš zahřáli. Diamant je velmi tvrdý a snadno se nepoškodí.
Diamantová zrcadla se vyrábějí se speciálními metodami, jako je leptání reaktivního iontového paprsku. Díky tomu jsou malé tvary, které jim pomáhají lépe se odrážet a vydržet déle. Testy ukazují, že zvládnou více laserového výkonu než jiná zrcadla. Laboratoře, které používají silné lasery v litografii a přesné optice, jako jsou diamantové zrcadla, protože trvají dlouho.
Tip: Pokud potřebujete ovládat teplo a chcete nejlepší odrazivost, diamantová zrcadla jsou pro lasery nejlepší volbou.
Zlatá okna potažená TMS s narušenými optickými metasurfacemi jsou skvělá pro práci s širokopásmovou laboratoří. Tato zrcadla odrážejí spoustu světla a udržují obrazy z 380 do 780 nm. Zrcadla TMS se rozprostírají odrazená světlo, ale nezahrnují to, co skrze ně vidíte. To udržuje obrázky ostré v jakémkoli úhlu.
Laboratoře používají tato zrcadla při zobrazování, nastavení laseru a optických systémech, které musí odrážet určité vlnové délky. Používají se také ve fluorescenční a konfokální mikroskopii jako dichromatické paprsky. Horká a studená zrcátka pomáhají ovládat teplo v projektorech tím, že odráží nebo propustí určité vlnové délky.
Ideální laboratorní aplikace:
Zobrazování a nastavení laseru, které potřebují vysoká odrazivost (≥ 99%) v širokém rozsahu.
Laserové dutiny a optické systémy pro výběr určitých vlnových délek.
Fluorescence a konfokální mikroskopie.
Kontrola tepla v projektorech a osvětlovacích systémech.
Hlavní profesionály:
Velmi vysoká odrazivost, často více než 99% ve viditelném rozmezí.
Vydrží déle než mnoho kovových povlaků.
Lze vyrobit tak, aby odrážely určité vlnové délky s vícevrstvými zrcadly.
Fused oxid křemičitý a zerodur je udržují je stabilní a jasné.
Hlavní nevýhody:
Těžké a drahé na výrobu kvůli mnoha dielektrickým vrstvám.
Reflektivita a polarizace se mohou změnit s úhlem.
Pro dosažení nejlepších výsledků potřebujete velmi hladké a rovné povrchy.
Laboratoře, které chtějí nejlepší širokopásmová zrcátka, by si měly vybrat TMS-potažené a vícevrstvé zrcadla. Poskytují nejlepší odrazivost a přesnost litografie a pokročilého zobrazování.
Volba hodnoty zrcátka pomáhají laboratorům ušetřit peníze, ale přesto dobře fungují. Laboratoře mohou utratit méně výběrem zrcadel s menší šířkou pásma, nižší odrazivostí nebo méně rovinností. Zrcadla pro jednu vlnovou délku stojí méně, ale nejsou tak flexibilní. Zrcadla s 95% až 98% odrazivostí jsou dobrá pro většinu laboratorních úloh a stojí méně než nejvyšší zrcátka. Dopad
| parametru výkonu | na kompromis a výkonnost |
|---|---|
| Odrazivost (> 99,999%) | Extrémně těsná kontrola zvyšuje složitost a náklady. |
| Platness a zakřivení | Přísnější specifikace vyžadují přesnější výrobu, zvyšování nákladů. |
| Kosmetické specifikace (Scratch-Dig) | Vysoká kvalita snižuje rozptyl, ale zvyšuje inspekční a výrobní náklady. |
| Laser indukovaný práh poškození (LIDT) | Vyšší zrcátka LIDT mohou stát více díky specializovaným povlakům a substrátům. |
| Disperze (pro ultrarychlé lasery) | Správa rozptylu zvyšuje náklady a omezuje šířku pásma. |
| Limity šířky pásma a odrazivosti | Zúžení šířky pásma nebo přijímání mírné odrazivosti snižuje náklady, ale omezuje výkon. |
| Zjednodušení designu | Zaměření na méně parametrů snižuje náklady, ale může snížit flexibilitu. |
| Pokroky v technologii povlaku | Vylepšené povlaky umožňují lepší rovnováhu s výkonem, ale velmi vysoké specifikace stále zvyšují náklady na vyšší. |
Sběr jednodušších specifikací umožňuje laboratořům získat zrcadla, která fungují pro většinu litografických a optických pracovních míst, aniž by příliš utrácely.
Nové metody povlaku způsobily, že zrcadla levnější a lepší, ale nejlepší specifikace stále stojí více.
Zrcadla s výběrem hodnot jsou inteligentní pro laboratoře, které chtějí dobré výsledky a přesnost, aniž by platily za nejdražší možnosti.
Ultrarychlé stříbrná laserová zrcadla a vysoce výkonné ultrarychlé zrcadla Techspec jsou nejlepší pro rychlou a přesnou laboratorní práci. Tato zrcadla odrážejí více než 99% světla od 600–1000 nm nebo 800–1150 nm. Jejich disperze jejich skupinového zpoždění je až 0 ± 20 fs². Fungují dobře s lasery TI: Sapphire a YB. Díky tomu jsou ideální pro pohyb femtosekundových impulsů a volantových paprsků.
Ultrarychlé dielektrické zrcadla s iontovým rozprašovaným povlaky odrážejí mnoho světla a méně rozptylu. Udržují laserové impulsy ostré a neprotahují je. To je důležité pro pečlivé experimenty v litografii a pokročilé optice.
| Typ zrcadla | Hlavní výhody | Potenciální nevýhody |
|---|---|---|
| Chirped Mirrors | - Široké šířky pásma možné- malé úhly incidence- snadnější zarovnání ve srovnání s hranoly a mřížky | - Pouze integrální kroky GDD, ne nepřetržitě laditelné- musí být použity v doplňkových párech- omezená šířka pásma- obvykle menší velikost GDD |
| Vysoce disperzní zrcadla | - dosáhnout vyšších velikostí GDD s menším oscilací- malé úhly dopadu- snadnější zarovnání- nevyžadujte párování- vysokou odrazivost, menší ztrátu světla světla | - Pouze integrální kroky GDD, ne nepřetržitě laditelné- omezená šířka pásma |
Chirped zrcadla jsou dobrá, když potřebujete často upravit disperzi skupinového zpoždění (GDD). Vysoce disperzní zrcadla jsou lepší pro pevná nastavení, která vyžadují hodně GDD. Oba typy musí odpovídat limitu poškození laseru a úlohy.
Laboratoře, které vyžadují největší přesnost v ultrarychlé optice a litografii, by měly používat ultrarychlá dielektrická zrcátka. Odrážejí nejvíce světla, mají nízkou disperzi a fungují velmi dobře.
Zrcadla s vysokou odrazivostí jsou v laboratořích velmi důležitá. Tato zrcadla mohou odrážet téměř veškeré světlo, z 99,8% do 99,999%. Jejich speciální design zabrání rozptylu nebo absorpci většiny světla. To je nutné pro pečlivou vědeckou práci. Tvůrci umístili mnoho tenkých dielektrických vrstev na super leštěnou fúzovanou oxid křemičitý. Používají iontově paprsek rozprašováním . Díky tomu jsou zrcadla silná a schopná zvládnout lasery. Povrch musí splňovat standardy jako 20-10 škrábance/kopat, aby fungovalo dobře.
Lasery potřebují zrcadla, která odrážejí světlo velmi rovnoměrně. Tato zrcadla musí zvládnout silnou sílu a vydržet dlouho. Laboratoře vybírají dielektrická zrcadla, protože při určitých vlnových délkách odrážejí více než 99,9%. Kovově potahová a hybridní zrcátka fungují pro více vlnových délek, ale nemusí odrážet tolik nebo zvládnout tolik energie.
| Zrcadlové typ | běžné používá | klíčové požadavky |
|---|---|---|
| Dielektrická zrcadla | Laserové systémy s vysokým výkonem | Reflektivita> 99,9%, prahová hodnota poškození s vysokým laserem |
| Zrcadla potažená kovem | Průmyslové a širokospektrální lasery | Široká odrazivost, mírná trvanlivost |
| Hybridní zrcadla | Nastavení laseru s více vlnovými délkami | Vysoká odrazivost, rovnováha odolnosti a rozsahu |
Laboratoře používají speciální testy jako spektroskopie dutiny . Pro kontrolu odrazivosti Tento test najde všechny ztráty světla. Pomáhá udržovat systémy v bezpečí a funguje správně.
Typ povlaku a základny mění způsob, jakým zrcadlo funguje. Dielektrické povlaky způsobují, že zrcadla odrážejí lepší a vydrží déle pro lasery. Kovové povlaky, jako je hliník nebo stříbro, potřebují dielektrickou vrstvu nahoře, aby zastavili rez. Rozprašování iontového paprsku dělá hladké a silné povlaky, které jsou pokaždé stejné. To je dobré pro tvrdé laserové práce.
Pro spektroskopii a zobrazování jsou potřebná vysoká zrcátka. Odrazují se téměř všechny světlo, takže signály zůstávají silné a obrázky vypadají jasně. Laboratoře používají tato zrcadla k řízení paprsků a zastavení ztráty světla. Povrch zrcadla musí být velmi hladký a tvarovaný vpravo. Dokonce i malé chyby mohou poškodit kvalitu obrazu.
Zrcadla s vysokou odrazivostí pomáhají řídit světlo ve spektroskopii.
Udržují obrázky jasné zastavením ztráty signálu.
Kontrola odrazivosti pomocí testů, jako je spektroskopie s dutinou, ukazuje, jak dobře bude zrcadlo fungovat.
Testy ukazují, že použití vysoké odrazivosti Zrcadla s fotodiody jsou lepší. Zrcadla nechají světlo zasáhnout detektor více než jednou. Díky tomu je detektor citlivější. Ve vesmíru musí být zrcadla pečlivě namontována, aby zůstala hladká a neohýbala se. To udržuje obrázky ostré a jasné.
Vysoká odrazivost zrcadel pomáhá spektroskopii a zobrazování tím, že zastaví ztrátu světla a udržuje systémy dobře.
Výběr správného optického zrcadla pro laboratoř je opatrně zamyšlen. Laboratoře si musí vybrat zrcadla, která odpovídají tomu, co potřebují pro litografii, EUV a DUV. Zde je několik věcí, o kterých je třeba myslet:
Vlnová délka, kterou používáte, rozhoduje, který zrcadlový materiál je nejlepší. Některé materiály lépe odrážejí ultrafialové, viditelné nebo infračervené světlo.
Záležitosti manipulace s výkonem pro silné lasery. Zrcadlo se nesmí zlomit, když je zasaženo hodně energie, zejména v litografii a EUV.
Prostředí, jako je teplo, tlak nebo chemikálie, může změnit, jak dlouho zrcadlo trvá. Substráty, které moc nerozšiřují, pomáhají udržovat zrcadlové ploché, i když se změní teplota.
Jak ploché je zrcadlo a jeho chyba vlny ovlivňují, jak jsou jasné obrazy v litografii a optice.
Úhel světla zasáhne, polarizace a vlnová délka se mění, jak dobře zrcadlo funguje.
Dielektrická zrcátka odrážejí hodně světla, absorbují málo a snadno se poškozují. Díky tomu jsou dobrými pro DUV litografii a ponoření litografie.
Zrcadlový design by měl vyvážit, jak dobře to funguje, kolik to stojí a jak dlouho to trvá v litografickém stroji.
Mluvení s optickými inženýry pomáhá vybrat správné materiály a povlaky pro každé nastavení laboratoře.
Tip: Vždy Držte zrcadla po okrajích a noste rukavice . Udržujte optiku v čistých krabicích a nedotýkejte se povrchů. Tím se zastaví škrábance a nečistoty.
Výběr správného zrcadla a povlaku pro úlohu pomáhá laboratořům získat nejlepší výsledky. Pro litografii, EUV a DUV je chytré používat referenční zrcátka a ovládat úhel světla. To pomáhá snižovat chyby při měření. Pro velmi pečlivá měření by se povlaky měly udržovat vlnovou v pořádku a nezměnit fázi. Laboratoře by měly zkontrolovat, jak zrcadla fungují na vlnové délce, která budou používat k dosažení skutečných výsledků.
Pro ultrarychlé lasery vyžadují povlaky vysokou odrazivost a správné rozptyl zpoždění. To udržuje laserové impulsy ostré. Širokopásmové dielektrické zrcadla a gires Tournois Interferometr Zrcadla pomáhají opravit rozptyl. Beamsplitters s iontovým paprskem spuštěným povlaky pomáhají kontrolovat a zvyšovat impulzy. Potahování musí odpovídat polarizaci a úhlu pro každý systém.
Některé běžné chyby se dotýkají zrcadlového povrchu, položení optiky na tvrdé stoly nebo jejich ukládání špatně. Laboratoře by měly čistit optiku pouze v případě potřeby. Začněte komprimovaným vzduchem a použijte jemné způsoby pro plochá zrcadla. Podložky pod šrouby zastavují poškození a šrouby z oceli by se nikdy neměly dotknout zrcadla.
Poznámka: Znalost zrcadlových specifikací a výběr správného pro váš systém udržuje výkon vysoký a obrázky ostré v litografii a zobrazování.
Laboratoře v roce 2025 mají mnoho optických zrcadel, ze kterých si můžete vybrat. Každé zrcadlo funguje nejlépe pro určitou práci. Níže uvedená tabulka ukazuje, které zrcadlo odpovídá každému použití :
| Zrcadlový typ | Popis/Použití pouzdra |
|---|---|
| Ploché zrcadla | Používá se pro většinu laboratorních prací |
| Mimorová zrcátka | Přesuňte paprsky, aniž byste je blokovali |
| Širokopásmový dielektrikum | Dobré pro mnoho vlnových délek |
| Ultrarychlé laserové zrcadla | Ovládejte velmi rychlé laserové pulsy |
| IR zrcadla | Odráží infračervené světlo |
| Horká a studená zrcátka | Pomozte správu tepla v systémech |
| Speciální zrcadla | Vyrobeno pro speciální laboratorní potřeby |
Odborníci říkají, že laboratoře by měly přemýšlet o nákladů a o tom, jak dobře zrcadlo funguje. Leasing nebo pronájem zrcadel může pomoci laboratořům zůstat flexibilní. Plány služeb pomáhají udržovat zrcadla dobře fungující. Sbírání pravého zrcadla a povlaku pro práci dává nejlepší výsledky a ušetří peníze v průběhu času.
Dielektrická zrcadla mají mnoho tenkých vrstev, které odrazí světlo zpět. Odrážejí více světla, ale pouze pro určité barvy. Kovová zrcadla, jako je stříbro nebo hliník, pracují s mnoha barvami. Ale neodrážejí tolik světla jako dielektrická zrcadla.
Laboratoře by měly nejprve odfouknout prach pryč čistým vzduchem. Pokud je potřeba více čištění, použijte tkáň čočky a bezpečné čištění. Lidé by se nikdy neměli dotknout zrcadlového povrchu. Dobré čištění pomáhá zrcadkám vydržet déle a zastaví škrábance.
Žádné jediné zrcadlo nefunguje pro každou laboratorní práci. Každý typ zrcadla je nejlepší pro určité barvy, sílu nebo místa. LABS musí pro každý experiment vybrat správné zrcadlo, aby dosáhl nejlepších výsledků.
Půstovost pomáhá zrcadlu odrážet světlo správným způsobem. Ploché zrcadlo udržuje světelný paprsek rovný a ostrý. Pokud zrcadlo není ploché, obrázky mohou vypadat rozmazané nebo méně jasně.
Jak dlouho zrcadlo trvá, závisí na jeho povlaku, kde se používá a jak se o něj stará. Dielektrické povlaky vydrží déle v čistých laboratořích. Kovové povlaky mohou být poškozeny rychleji. Péče o zrcadla a jejich ukládání správně jim pomáhá vydržet déle.
