| Specifikace/Standard | Přesný stupeň | Tovární standard | Obchodní stupeň |
| Rozměrová tolerance | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Tolerance tloušťky | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Poloměr | TBD | ||
| Plochost | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
| Kvalita povrchu | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Drsnost | RMS <1 nm | RMS <2nm | RMS <2nm |
| Rovnoběžnost | <30 arcsec | <1 arcmin | <5 arcmin |
| Zkosení | <0,05 mm x 45 stupňů | <0,15 mm x 45 stupňů | <0,3 mm x 45 stupňů |
| Povlak | Povlak AR/Dielektrický povlak/Povlak pro dělení paprsků | ||