| Spesifikasies/ Standaard | Presisiegraad | Fabrieksstandaard | Kommersiële graad |
| Dimensionele toleransie | +/-0,01 mm | +/-0,03 mm | +/-0,05 mm |
| Dikte verdraagsaamheid | +/-0,005 mm | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm |
| Radius | Oneindigheid | ||
| Platheid | PV<1/50L | PV<1/10L | PV<1/4L |
| Oppervlak kwaliteit | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
| Grofheid | RMS<0.3nm | RMS<0.8nm | RMS <1nm |
| Parallelisme | <2 boogsek | <10 arcmin | <30 arcmin |
| Chamfer | <0,05 mm x 45 grade | <0,15 mm x 45 grade | <0,3 mm x 45 grade |
| Bedekking | AR-bedekking/diëlektriese bedekking/spieëlbedekking | ||