Spesifikasies/ standaard | Presisie graad | Fabriekstandaard | Kommersiële graad |
Dimensionele verdraagsaamheid | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0.1mm |
Dikte verdraagsaamheid | +/- 0,01 mm | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm |
Radius | Oneindigheid | ||
Platheid | PV <1/50L | PV <1/10L | PV <1/4L |
Oppervlakgehalte | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
Grofheid | Rms <0,3nm | Rms <0,8nm | Rms <1nm |
Parallelisme | <10arcsec | <30arcmin | <1arcmin |
Chamfer | <0,05 mm x 45deg | <0.15mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Laag | Diëlektriese deklaag/spieëlbedekking |