Spesifikasies/ standaard | Presisie graad | Fabriekstandaard | Kommersiële graad |
Dimensionele verdraagsaamheid | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0.1mm |
Dikte verdraagsaamheid | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0.1mm |
Radius | Oneindigheid | ||
Platheid | PV <1/10L | PV <1/2L | PV <1L |
Oppervlakgehalte | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
Grofheid | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <5nm |
Parallelisme | <10arcsec | <30arcsec | <3arcmin |
Chamfer | <0,05 mm x 45deg | <0.15mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Laag | Filterbedekking |