| Spesifikasies/ Standaard | Presisiegraad | Fabrieksstandaard | Kommersiële graad |
| Dimensionele toleransie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Dikte verdraagsaamheid | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radius | Oneindigheid | ||
| Platheid | PV<1/10L | PV<1/2L | PV<1L |
| Oppervlak kwaliteit | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
| Grofheid | RMS <1nm | RMS<2nm | RMS<5nm |
| Parallelisme | <10 boogsek | <30 boogsek | <3arcmin |
| Chamfer | <0,05 mm x 45 grade | <0,15 mm x 45 grade | <0,3 mm x 45 grade |
| Bedekking | Filterbedekking | ||