Spesifikasies/ standaard | Presisie graad | Fabriekstandaard | Kommersiële graad |
Dimensionele verdraagsaamheid | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0.1mm |
Dikte verdraagsaamheid | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0.1mm |
Radius | TBD | ||
Platheid | 3/-(0.2) | 3/-(0.5) | 3/-(1.0) |
Oppervlakgehalte | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
Grofheid | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <2nm |
Parallelisme | <30arcsec | <1arcmin | <5arcmin |
Chamfer | <0,05 mm x 45deg | <0.15mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Laag | AR -deklaag/diëlektriese deklaag/balksplitterbedekking |