| Spesifikasies/ Standaard | Presisiegraad | Fabrieksstandaard | Kommersiële graad |
| Dimensionele toleransie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Dikte verdraagsaamheid | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radius | TBD | ||
| Platheid | 3/-(0.2) | 3/-(0,5) | 3/-(1.0) |
| Oppervlak kwaliteit | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Grofheid | RMS <1nm | RMS<2nm | RMS<2nm |
| Parallelisme | <30 boogsek | <1arcmin | <5 arcmin |
| Chamfer | <0,05 mm x 45 grade | <0,15 mm x 45 grade | <0,3 mm x 45 grade |
| Bedekking | AR-bedekking/diëlektriese bedekking/straalverdelerbedekking | ||