| Spezifikationen/Standard | Präzisionsklasse | Werksstandard | Kommerzielle Qualität |
| Maßtoleranz | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Dickentoleranz | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radius | Noch offen | ||
| Ebenheit | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
| Oberflächenqualität | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Rauheit | RMS<1nm | RMS <2 nm | RMS <2 nm |
| Parallelität | <30 Bogensekunden | <1arcmin | <5arcmin |
| Fase | <0,05 mm x 45 Grad | <0,15 mm x 45 Grad | <0,3 mm x 45 Grad |
| Beschichtung | AR-Beschichtung/dielektrische Beschichtung/Beamsplitter-Beschichtung | ||