| Tekniset tiedot/ Vakio | Tarkkuusluokka | Tehdasstandardi | Kaupallinen luokka |
| Mitattoleranssi | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Paksuustoleranssi | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Säde | TBD | ||
| Tasaisuus | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
| Pinnan laatu | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Epätasaisuus | RMS < 1 nm | RMS < 2 nm | RMS < 2 nm |
| Rinnakkaisuus | <30 kaarista | <1 arcmin | <5 arcmin |
| Viiste | <0,05 mm x 45 astetta | <0,15 mm x 45 astetta | <0,3 mm x 45 astetta |
| Pinnoite | AR-pinnoite/Dielektrinen pinnoite/Säteenjakajapinnoite | ||