Tekniset tiedot/ standardi | Tarkkuusluokka | Tehdasstandardi | Kaupallinen luokka |
Ulottuvuustoleranssi | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Paksuustoleranssi | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Säde | TBD | ||
Tasaisuus | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
Pinnan laatu | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
Karu | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <2nm |
Rinnakkaisuus | <30ArCSec | <1Arcmin | <5Arcmin |
Pamppu | <0,05 mm x 45DEG | <0,15 mm x 45DEG | <0,3 mm x 45DEG |
Pinnoite | AR -päällyste/dielektrinen päällyste/palkkiohjauspäällyste |