| Specifikationer/ Standard | Precisionsgrad | Fabriksstandard | Kommersiellt betyg |
| Dimensionell tolerans | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Tjocklekstolerans | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radie | TBD | ||
| Flathet | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
| Ytkvalitet | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Grovhet | RMS <1nm | RMS <2nm | RMS <2nm |
| Parallellism | <30 bågsekunder | <1arcmin | <5arcmin |
| Avfasning | <0,05 mm x 45 grader | <0,15 mm x 45 grader | <0,3 mm x 45 grader |
| Beläggning | AR-beläggning/Dielektrisk beläggning/Beamsplitter-beläggning | ||