Specifikationer/ standard | Precisionskvalitet | Fabriksstandard | Handelsgrad |
Dimensionell tolerans | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Tjocklekstolerans | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Radie | Tbd | ||
Flathet | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1.0) |
Ytkvalitet | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
Grovhet | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <2nm |
Parallellitet | <30arcsec | <1arcmin | <5arcmin |
Avfasning | <0,05 mm x 45deg | <0,15 mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Beläggning | AR -beläggning/dielektrisk beläggning/balkplitterbeläggning |