| Especificações/Padrão | Grau de precisão | Padrão de fábrica | Grau Comercial |
| Tolerância dimensional | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Tolerância de espessura | +/-0,02mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Raio | A definir | ||
| Planicidade | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
| Qualidade de superfície | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Rugosidade | RMS<1nm | RMS<2nm | RMS<2nm |
| Paralelismo | <30 segundos de arco | <1arcmin | <5arcmmin |
| Chanfro | <0,05 mm x 45 graus | <0,15 mm x 45 graus | <0,3 mm x 45 graus |
| Revestimento | Revestimento AR/revestimento dielétrico/revestimento divisor de feixe | ||