Especificações/ padrão | Grau de precisão | Padrão de fábrica | Grau comercial |
Tolerância dimensional | +/- 0,02mm | +/- 0,05mm | +/- 0,1mm |
Tolerância à espessura | +/- 0,02mm | +/- 0,05mm | +/- 0,1mm |
Raio | TBD | ||
Planicidade | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1.0) |
Qualidade da superfície | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
Rugosidade | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <2nm |
Paralelismo | <30arcsec | <1arcmin | <5arcmin |
Chanfro | <0,05 mm x 45deg | <0,15 mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Revestimento | Revestimento de ar/revestimento dielétrico/revestimento de feixes de feixes |