Specificaties/ standaard | Precisiekwaliteit | Factory Standard | Commerciële kwaliteit |
Dimensionale tolerantie | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Diktetolerantie | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Radius | TBD | ||
Vlakheid | 3/-(0.2) | 3/-(0,5) | 3/-(1.0) |
Oppervlaktekwaliteit | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
Ruwheid | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <2nm |
Parallellisme | <30arcsec | <1arcmin | <5arcmin |
Schuif | <0,05 mm x 45deg | <0,15 mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Coating | AR -coating/diëlektrische coating/balksplitter coating |