| Specificaties/ Standaard | Precisiekwaliteit | Fabrieksstandaard | Commerciële kwaliteit |
| Dimensionale tolerantie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Dikte tolerantie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radius | Nader te bepalen | ||
| Vlakheid | 3/-(0,2) | 3/-(0,5) | 3/-(1,0) |
| Oppervlaktekwaliteit | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| Ruwheid | RMS<1nm | RMS<2nm | RMS<2nm |
| Parallellisme | <30boogsec | <1 boogmin | <5boogmin |
| Afschuining | <0,05 mm x 45 graden | <0,15 mm x 45 graden | <0,3 mm x 45 graden |
| Coating | AR-coating/diëlektrische coating/beamsplitter-coating | ||