| מפרט/ תקן | ציון דיוק | תקן מפעל | ציון מסחרי |
| סובלנות ממדי | +/-0.02 מ'מ | +/-0.05 מ'מ | +/-0.1 מ'מ |
| סובלנות לעובי | +/-0.02 מ'מ | +/-0.05 מ'מ | +/-0.1 מ'מ |
| רַדִיוּס | TBD | ||
| שְׁטִיחוּת | 3/-(0.2) | 3/-(0.5) | 3/-(1.0) |
| איכות פני השטח | 10-5 | 20-10 | 40-20 |
| חִספּוּס | RMS <1nm | RMS <2nm | RMS <2nm |
| מַקבִּילוּת | <30 arcsec | <1arcmin | <5arcmin |
| Chamfer | <0.05 מ'מ x 45 מעלות | <0.15 מ'מ x 45 מעלות | <0.3 מ'מ x 45 מעלות |
| שִׁכבָה | ציפוי AR/ציפוי דיאלקטרי/ציפוי מפצל קורות | ||