| Specificaties/ Standaard | Precisiekwaliteit | Fabrieksstandaard | Commerciële kwaliteit |
| Dimensionale tolerantie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Dikte tolerantie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radius | Oneindigheid | ||
| Vlakheid | PV<1/10L | PV<1/2L | PV<1L |
| Oppervlaktekwaliteit | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
| Ruwheid | RMS<1nm | RMS<2nm | RMS<5nm |
| Parallellisme | <10boogsec | <30boogsec | <3boogmin |
| Afschuining | <0,05 mm x 45 graden | <0,15 mm x 45 graden | <0,3 mm x 45 graden |
| Coating | Filtercoating | ||