Tekniset tiedot/ standardi | Tarkkuusluokka | Tehdasstandardi | Kaupallinen luokka |
Ulottuvuustoleranssi | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Paksuustoleranssi | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Säde | Äärettömyys | ||
Tasaisuus | PV <1/10L | PV <1/2L | PV <1L |
Pinnan laatu | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
Karu | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <5nm |
Rinnakkaisuus | <10ArCSec | <30ArCSec | <3Arcmin |
Pamppu | <0,05 mm x 45DEG | <0,15 mm x 45DEG | <0,3 mm x 45DEG |
Pinnoite | Suodatinpinnoite |