| Tekniset tiedot/ Vakio | Tarkkuusluokka | Tehdasstandardi | Kaupallinen luokka |
| Mitattoleranssi | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Paksuustoleranssi | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Säde | ääretön | ||
| Tasaisuus | PV<1/10L | PV<1/2L | PV<1L |
| Pinnan laatu | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
| Epätasaisuus | RMS < 1 nm | RMS < 2 nm | RMS < 5 nm |
| Rinnakkaisuus | <10 kaaret | <30 kaarista | <3 arcmin |
| Viiste | <0,05 mm x 45 astetta | <0,15 mm x 45 astetta | <0,3 mm x 45 astetta |
| Pinnoite | Suodatinpinnoite | ||