Specificaties/ standaard | Precisiekwaliteit | Factory Standard | Commerciële kwaliteit |
Dimensionale tolerantie | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Diktetolerantie | +/- 0,01 mm | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm |
Radius | Oneindigheid | ||
Vlakheid | PV <1/50L | PV <1/10L | PV <1/4L |
Oppervlaktekwaliteit | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
Ruwheid | Rms <0,3 nm | Rms <0,8 nm | Rms <1nm |
Parallellisme | <10arcSec | <30arcmin | <1arcmin |
Schuif | <0,05 mm x 45deg | <0,15 mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Coating | Diëlektrische coating/spiegelcoating |