| Specificaties/ Standaard | Precisiekwaliteit | Fabrieksstandaard | Commerciële kwaliteit |
| Dimensionale tolerantie | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Dikte tolerantie | +/-0,01 mm | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm |
| Radius | Oneindigheid | ||
| Vlakheid | PV<1/50L | PV<1/10L | PV<1/4L |
| Oppervlaktekwaliteit | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
| Ruwheid | RMS<0,3 nm | RMS<0,8nm | RMS<1nm |
| Parallellisme | <10boogsec | <30 boogmin | <1 boogmin |
| Afschuining | <0,05 mm x 45 graden | <0,15 mm x 45 graden | <0,3 mm x 45 graden |
| Coating | Diëlektrische coating/spiegelcoating | ||