Especificações/ padrão | Grau de precisão | Padrão de fábrica | Grau comercial |
Tolerância dimensional | +/- 0,02mm | +/- 0,05mm | +/- 0,1mm |
Tolerância à espessura | +/- 0,02mm | +/- 0,05mm | +/- 0,1mm |
Raio | Infinidade | ||
Planicidade | PV <1/10L | PV <1/2L | PV <1L |
Qualidade da superfície | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
Rugosidade | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <5nm |
Paralelismo | <10arcsec | <30arcsec | <3arcmin |
Chanfro | <0,05 mm x 45deg | <0,15 mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Revestimento | Filtro de revestimento |