מפרט/ סטנדרט | ציון דיוק | תקן מפעל | ציון מסחרי |
סובלנות ממדית | +/- 0.02 מ'מ | +/- 0.05 מ'מ | +/- 0.1 מ'מ |
סובלנות לעובי | +/- 0.02 מ'מ | +/- 0.05 מ'מ | +/- 0.1 מ'מ |
רַדִיוּס | אֵין סוֹף | ||
שְׁטִיחוּת | PV <1/10L | PV <1/2L | PV <1L |
איכות פני השטח | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
חִספּוּס | Rms <1nm | Rms <2nm | Rms <5nm |
מַקבִּילוּת | <10arcsec | <30arcsec | <3arcmin |
צ'מפר | <0.05 מ'מ x 45deg | <0.15 מ'מ x 45deg | <0.3 מ'מ x 45deg |
שִׁכבָה | ציפוי סינון |