| Specifikationer/ Standard | Precisionsgrad | Fabriksstandard | Kommersiellt betyg |
| Dimensionell tolerans | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Tjocklekstolerans | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Radie | Oändlighet | ||
| Flathet | PV<1/10L | PV<1/2L | PV<1L |
| Ytkvalitet | 20-10 | 40-20 | 60-40 |
| Grovhet | RMS <1nm | RMS <2nm | RMS <5 nm |
| Parallellism | <10 bågsekunder | <30 bågsekunder | <3arcmin |
| Avfasning | <0,05 mm x 45 grader | <0,15 mm x 45 grader | <0,3 mm x 45 grader |
| Beläggning | Filterbeläggning | ||