| Especificações/Padrão | Grau de precisão | Padrão de fábrica | Grau Comercial |
| Tolerância dimensional | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Tolerância de espessura | +/-0,01 mm | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm |
| Raio | Infinidade | ||
| Planicidade | PV<1/50L | PV<1/10L | PV<1/4L |
| Qualidade de superfície | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
| Rugosidade | RMS<0,3nm | RMS<0,8nm | RMS<1nm |
| Paralelismo | <10seg de arco | <30arcmmin | <1arcmin |
| Chanfro | <0,05 mm x 45 graus | <0,15 mm x 45 graus | <0,3 mm x 45 graus |
| Revestimento | Revestimento dielétrico/revestimento espelhado | ||