| Dane techniczne/standard | Stopień precyzji | Standard fabryczny | Klasa komercyjna |
| Tolerancja wymiarowa | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm | +/-0,1 mm |
| Tolerancja grubości | +/-0,01 mm | +/-0,02 mm | +/-0,05 mm |
| Promień | Nieskończoność | ||
| Płaskość | PV<1/50L | PV<1/10L | PV<1/4L |
| Jakość powierzchni | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
| Chropowatość | Wartość skuteczna <0,3 nm | Wartość skuteczna <0,8 nm | Wartość skuteczna <1 nm |
| Równoległość | <10sek.arc | <30arcmin | <1arcmin |
| Ścięcie | <0,05 mm x 45 stopni | <0,15 mm x 45 stopni | <0,3 mm x 45 stopni |
| Powłoka | Powłoka dielektryczna/powłoka lustrzana | ||