Tekniset tiedot/ standardi | Tarkkuusluokka | Tehdasstandardi | Kaupallinen luokka |
Ulottuvuustoleranssi | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Paksuustoleranssi | +/- 0,01 mm | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm |
Säde | Äärettömyys | ||
Tasaisuus | PV <1/50L | PV <1/10L | PV <1/4L |
Pinnan laatu | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
Karu | Rms <0,3 nm | Rms <0,8 nm | Rms <1nm |
Rinnakkaisuus | <10ArCSec | <30Arcmin | <1Arcmin |
Pamppu | <0,05 mm x 45DEG | <0,15 mm x 45DEG | <0,3 mm x 45DEG |
Pinnoite | Dielektrinen päällyste/peilipinnoitus |