Specifikationer/ standard | Precisionskvalitet | Fabriksstandard | Handelsgrad |
Dimensionell tolerans | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm | +/- 0,1 mm |
Tjocklekstolerans | +/- 0,01 mm | +/- 0,02 mm | +/- 0,05 mm |
Radie | Oändlighet | ||
Flathet | PV <1/50L | PV <1/10L | PV <1/4L |
Ytkvalitet | 5-1 | 10-5 | 40-20 |
Grovhet | Rms <0,3 nm | Rms <0,8 nm | Rms <1nm |
Parallellitet | <10arcsec | <30arcmin | <1arcmin |
Avfasning | <0,05 mm x 45deg | <0,15 mm x 45deg | <0,3 mm x 45deg |
Beläggning | Dielektrisk beläggning/spegelbeläggning |